電容式光電開(kāi)關(guān)
力學(xué)量傳感器主要是用于量測(cè)力、加速度、扭矩、壓力、流量等理量。這不僅給敏感材質(zhì)與敏感機(jī)理提出了高的需要,同時(shí)也對(duì)半導(dǎo)體工藝與大規(guī)模集成技術(shù)提出了 更高的需要。
電纜分接箱這一些物理量的量測(cè)都與機(jī)械應(yīng)力有關(guān),所以把這類傳感器稱為力學(xué)量傳感器。這一些待測(cè)對(duì)象的被感知,并不是通過(guò)結(jié)構(gòu)的改變來(lái)實(shí)的,而只是敏感材質(zhì)的改故常稱之為物性型傳感器。力學(xué)量傳感器的種類繁多,應(yīng)用較為普遍的有:電阻式、電容式、 變磁阻式、振弦式、壓阻式、壓電式、光纖式等。氣動(dòng)閥門這里只準(zhǔn)備對(duì)金屬應(yīng)片、壓阻式力學(xué)量傳感器、壓電式力學(xué)量傳感器中用較廣、較為典型的一些類型進(jìn)行討論。